Сверхвысоковакуумные
геттерные магниторазрядные насосы
НВГМ-2-1, НВГМ-5-1.
Предназначены для получения и
поддержания безмасляного высокого и сверхвысоковакуумного (10-9 Па) при откачке
активных, в том числе агрессивных (мышьяк, аммиак, хлор и т.п.) и инертных
газов в различных технологических установок (молекулярно-лучевой эпитаксии, в
установках анализа состава и структур материала).
Превосходят по
характеристикам аналогичные насосы «Норд» НМД-0,4; НМДИ-0,4;
и НМД-1; НМДИ-1
Состоят из магниторазрядных
модулей и резистивных испарителей геттерного материала, окруженным экраном.
Комплектуются блоками питания
магниторазрядных модулей (напряжение холостого хода минус 7000В, ток короткого
замыкания 0,8А – используется один или два блока) и резистивных испарителей
геттерного материала (напряжение 10В, ток до 65А).
Технические характеристики:
_______________________________________НВГМ-2-1________НВГМ-5-1
Предельное остаточное
давление, Па_______1*10(-9)__________1*10(-9)
Наибольшее давление запуска,
Па 13
Быстрота действия при
откачке:
- воздуха, л/с____________________________2500_____________5200
- аргона ________________________________100______________400
Для магниторазрядных модулей
л/с _________500______________800
Диапазон рабочих давлений, Па_от
5*10(-9) до 10(-3)
Диаметр отверстия
присоединительного фланца,
мм___________250_______________400
Число присоединительных
фланцев_________2_________________2
Габаритные размеры, мм:
-
Диаметр_______________________________503_______________770
- Высота________________________________552_______________580
Масса,
кг_______________________________130_______________268
Насосы должны иметь систему
безмасляной предварительной откачки. Возможна установка в промежуточном между
вертикальным и горизонтальным положении. Насосы не предназначены для откачки
тяжелых углеводородов.